创业项目 华科光刻技术进展(南科大光刻机工艺) ·硬件花园近日,华中科技大学刘世元教授团队成功打破国外垄断,成功研发中国首款完全自主可控的OPC芯片光刻软件。没有它,即使有光刻机,也没有办法保证高良率、大批量、低成本的制造芯片!目前,全球OPC工具... 01月28日666光刻 光刻机 华科评论 阅读全文